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山形大学 有機エレクトロニクスイノベションセンター(INOEL
992-0119 山形県米沢市アルカディア1丁目808-48  TEL0238-29-0575  FAX0238-29-0569
仲田 仁(産学連携教授)nakada(at)yz.yamagata-u.ac.jp   向殿 充浩(産学連携教授) koden(at)yz.yamagata-u.ac.jp  (スパムメール防止のため半角@(at)にしています。)

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  ホーム 技術紹介 ロールtoロール(R2R)装置技術

経済産業省「産学連携イノベーション促進事業」(2013年度〜2014年度)の支援により、4台のR2R装置を設計、導入しました。

30cm幅のフレキシブル基板に対応しており、超薄板ガラス、ステンレス箔、プラスチックフィルムを扱うことができます。

私どもの研究グループとの共同研究により、これらの装置をお使いいただけます。

 

R2Rスパッタ&CVD装置(神戸製鋼所)

本装置はスパッタリング成膜とCVD(Chemical Vapor Deposition)成膜が可能なR2R装置です[1,2]

スパッタリング成膜においては、成膜温度を-20℃〜250℃の範囲で変えることができます[3-5]

私どもの研究グループでは、ITOなどの電極成膜[4,5]、プラスチックフィルムへのバリア層形成[6]などの研究に用いています。

 

 

 

 

 

 

 

R2R スクリーン印刷装置(SERIA

本装置は、SERIAの独自技術である「ギャップゼロ」のスクリーン印刷装置です[7]

フラットなステンシルマスクとロール状のプリントローラーの間にフレキシブル基板を通す方式により、マスクと基板の間のギャップをゼロとし、これによって印刷精度を格段に向上させることができます。
私たちのグループでは、ITOをフォトリソフリーでパターンニングするためのエッチングペーストの印刷[4,5]Non-ITO電極形成のための絶縁膜印刷[8]などに用いています。

 

 

 

R2R グラビアオフセット&フレキソ印刷装置(小森マシナリー/太陽機械製作所)

本装置は、小森マシナリー製グラビアオフセット印刷装置と太陽機械製作所製のフレキソ印刷装置を組み込んだR2R装置です[9]山形大学有機薄膜デバイスコンソーシアムの取り組みとして、両者の技術を融合した一台の装置として開発したものです。

 

 

 

 

 

R2R ウェット洗浄装置(FEBACS

 本装置は、ロール状のフレキシブル基板をウェット洗浄するための装置です。
 http://www.febacs.co.jp/products/rtor.html

 バリア基板のバリア性に対して、ウェット洗浄が有効であることを確認しています[10]

 

 

 

 

References

[1] Y. Ikari and H. Tamagaki, IDW’12, FLX5/FMC5-1 (2012).
“Roll-to-roll deposition of ITO film on a flexible glass substrate”

[2] H. Tamagaki, Y. Ikari, N. Ohba, Surface & Coatings Technology, 241, 138-141 (2014).
“”Roll-to-roll sputter deposition on flexible glass substrates;
T. Okimoto, Y. Kurokawa, T. Segawa, H. Tamagaki, IDW’14, FLX5-2 (2014).
“Recent approach to high throughput barrier coating on plastic substrate”

[3] H. Tamagaki, K. Tanaka, K. Oishi, T. Furukawa, Society of Vacuum Coaters Technical Conference (2015, USA).
"Roll-to-roll Vacuum Coating System for Development of Flexible Substrates for OLED Lighting"

[4] T. Furukawa, K. Mitsugi, H. Itoh, D. Kobayashi, T. Suzuki, H. Kuroiwa, M. Sakakibara, K. Tanaka, N. Kawamura, M. Koden, IDW'14, FLX3-4L (2014).
Patterned ITO Film by Roll-to-Roll Process on Ultra-thin Glass”

[5] T. Furukawa, N. Kawamura, H. Nakada, M. Koden, The International Conference on Flexible and Printed Electronics (ICFPE 2016), O15-6 (2016).
Novel ITO fabrication processes on ultra-thin glass”

[6] M. Koden, T. Furukawa, T. Yuki, H. Kobayashi, H. Nakada, IDW/AD’16, FLX3-1 (2016). 
“Substrates and Non-ITO Electrodes for Flexible OLEDs”

[7] D. Kobayashi, N. Naoi, T. Suzuki, T. Sasaki, T. Furukawa, IDW’14, FLX3-1 (2014).
Novel Roll-to-Roll Screen Printing Machine for Flexible Devices”

[8] T. Furukawa, M. Sakakibara, N. Kawamura, M. Koden, IDW/AD’16, FLX3-3 (2016).
“All-printed non-ITO Transparent Electrodes on Ultra-thin Glass for OLED Lighting”

[9] K. Abe, T. Suzuki, M. Sakakibara, T. Furukawa, The International Conference on Flexible and Printed Electronics (ICFPE 2016), O6-6 (2016).
Roll to Roll gravure offset press”

[10] T. Furukawa, N. Kawamura, M. Koden, H. Itoh, H. Kuroiwa, K. Nagai, LOPEC (Large-area, Organic & Printed Electronics Convention) (2017). (Germany)
Gas barrier film for OLED devices”

 

 

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